产品基本信息

1. 核心功能

• 控制真空腔体与泵组之间的气流通断，实现抽真空、保压、充气等工艺切换；

• 角式结构可实现 90° 气流转向，适配复杂管路布局；

• 采用金属 / 波纹管密封，出气率极低，可满足超高真空（UHV）工况要求。

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2. 技术特点

• 材质选用 316L 不锈钢，一体精密车削成型，内外表面电解抛光，低出气率、耐腐蚀，适配酸碱清洗与超高真空环境；

• 采用波纹管密封或全金属硬密封设计，无橡胶部件污染风险，可耐受高温烘烤（最高 200℃以上）；

• 标准 CF 法兰接口，适配主流真空管路规格，密封性能优异，极限真空可达 1×10⁻¹⁰ mbar；

• 可选手动 / 气动驱动方式，适配不同自动化控制需求。

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3. 应用领域

• 半导体行业：真空镀膜、刻蚀、沉积设备的真空管路控制；

• 科研实验：高校、研究所的超高真空实验系统、分子泵机组；

• 工业真空：真空热处理、真空焊接、真空检测设备；

• 光电行业：真空镀膜机、光学真空设备的气路控制。

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产品参数

1. 详细参数

2. 注意事项

• 1. 服务与保障

• 定制服务：提供从结构设计、精密加工到洁净处理的一站式服务，可按需调整法兰规格、材质与驱动方式；

• 质量保障：每件产品均经过氦质谱检漏测试，确保无泄漏；关键批次可提供材质报告与洁净处理证明；

• 售后支持：收到货后 7 天内，若因加工问题导致产品缺陷，可免费返修或重做；非人为损坏的产品提供 12 个月质保。

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2. 这类零件加工难点

• 形位公差控制：法兰与阀体的同轴度、平行度要求高，需精密车削与工装保证；

• 密封面加工：CF 法兰刀口需精密成型，保证与无氧铜垫圈的密封性能；

• 低出气率控制：需严格控制材质与加工工艺，避免内部残留油污、杂质；

• 波纹管焊接：波纹管与阀体的焊接需保证无泄漏、低应力，防止疲劳开裂。

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3. 如何下单

· 发送图纸：STEP / DWG / SolidWorks 均可，发到微信或拨打17751118438

· 说明需求：加工数量、材质要求、精度要求和表面处理要求 

· 工程师评审：免费审图，评估加工方案，24小时内报价 

· 确认下单：确认后安排生产，5-10个工作日交付 

5. 常见问题

Q5：阀门泄漏怎么办？

A5：首先检查法兰螺栓是否均匀拧紧，垫圈是否安装正确；若仍泄漏，需检查密封面是否损伤或有杂质，必要时更换阀门或重新加工密封面。