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产品基本信息
产品名称:半导体316L不锈钢真空转接法兰加工
材料类型:316L不锈钢、304不锈钢及客户指定真空设备用金属材料。
产品结构:真空转接法兰结构,包含中心大孔、O形圈密封槽、刀口或密封台阶、法兰孔阵列、侧向接口和螺纹孔。
适用场景:半导体真空腔体、检测设备、气路接口、工艺腔转接、光学检测平台和精密仪器真空系统。
服务方式:支持来图定制、样件打样、小批量试产和项目配套加工。
核心功能
真空转接法兰用于半导体设备中连接腔体、管路和检测模块,要求密封面稳定、孔位准确、内孔同轴、侧口螺纹可靠,并满足清洗和防污染要求。316L不锈钢耐腐蚀性好,适合真空和洁净设备结构。
技术特点
1. O形圈槽、刀口密封面和中心孔可按图纸重点检测。
2. 法兰孔阵列和侧向接口需统一基准加工,保证装配一致性。
3. 316L不锈钢适合半导体真空系统和洁净环境。
4. 支持北京半导体设备研发打样和小批量生产。
产品参数
| 产品类型 | 真空转接法兰、腔体接口件、不锈钢密封法兰 |
| 常用材料 | 316L不锈钢、304不锈钢及客户指定材料 |
| 典型结构 | 中心孔、密封槽、法兰孔、侧向接口、螺纹孔 |
| 加工方式 | CNC车削、CNC铣削、镗孔、钻孔攻牙、清洗 |
| 参考精度 | 常规±0.02mm,密封槽、同轴度和平面度按图纸评估 |
如何下单
第一步,发送图纸。将 STEP、STP、DWG、PDF 或 SolidWorks 格式的图纸发送至微信,或拨打 17751118438 联系工程师。
第二步,工程评估。工程师根据材料、结构、精度、数量和交期进行工艺评审,并反馈可加工建议。
第三步,确认报价。确认加工方案、表面处理、检测要求、包装方式和交付时间后提供正式报价。
第四步,安排生产。双方确认后安排生产,打样件和小批量订单按项目难度确定交付周期。
常见问题
问:真空法兰最关键的尺寸是什么?
答:通常是密封槽、密封面平面度、中心孔同轴度、法兰孔位和侧向接口位置。
问:316L适合半导体真空零件吗?
答:316L耐腐蚀性和洁净适应性较好,常用于半导体设备真空接口和腔体结构。
问:密封槽可以做重点检测吗?
答:可以,槽宽、槽深、平面度和粗糙度均可按图纸检测。
问:是否支持小批量加工?
答:支持,适合设备研发、试制和项目配套。
问:是否能配合清洗包装?
答:可按客户要求进行清洗、防护和独立包装。
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